Elis, boa noite!
Se você está seguindo a IN 5/2017, este Termo de Referência é resultado do trabalho da Equipe de Planejamento da Contratação. É realizado o estudo técnico preliminar, a análise de riscos e elaborado o TR. Para a felicidade de todos, o TR compõe os editais como anexo, bem como a minuta do contrato. Deste modo, pode ser melhor você pesquisar pregões recentes do seu próprio Órgão ou Órgãos submetidos às mesmas normas.
Com relação à elaboração da planilha, aqui no NELCA há tópicos bem completos sobre o assunto. Indico este: